SCICO PLASMA CLEANER 基本升級款氧電漿清洗機/等離子清洗機

型號: PS-3LU
品牌: SCICO

升級款擁有比基本款更高的功率,適用於小樣品奈米級表面清潔與改質,當樣品不大又需有更好的清潔效果,升級款就是最佳的選擇。

[特點]

  • 緊湊而完整的單元
  • 可調整的射頻功率(低、中、高)
  • 最大射頻功率可達25W
  • 包含玻璃腔(φ3” x L6.5”)
  • 附帶觀察窗的鉸鏈門
  • 主動式風扇冷卻
  • 獨立開關可以操控真空馬達
  • 額外提供一組外接式真空計電源
  • 樣品托盤方便裝載和卸載,適合批量處理的小樣品
  • 利用1/8”NPT針閥來調整氣體流量和腔體壓力
  • 配合1/8”NPT三通閥可迅速切換引入氣體、排氣和隔離腔
  • 包含抽氣管保護套,有效避免真空管拉扯玻璃腔造成損壞
  • 尺寸: H213 x W257 x D217mm

[設備需求]

  • 真空幫浦能力需求: 最小抽氣量 23L/min、最低真空需求: <200mTorr
  • 對於非反應性氣體(空氣、N2、Ar),只需使用一般油式真空幫浦
  • 需可與機器銜接的數位式真空指示計

[選購配備]

  • EVEFLOW 是一款混合器,適用於2種氣體定流量控制的混合
  • 石英腔體適用於特殊反應氣體和防污染高敏感樣品的應用

[相關資料下載]

SCICO Plasma 基本升級款 型錄

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