SCICO PLASMA CLEANER 基本型氧電漿清洗機/等離子清洗機
型號: PS-3LP
品牌: SCICO
基本型氧電漿清洗機是一種緊湊、平價的桌上型等離子儀器，附帶觀察窗的鉸鏈門，具有主動風扇冷卻和針閥，適用於奈米級表面清潔和改質小樣品。
[特點]
- 緊湊而完整的單元
- 可調整的射頻功率(低、中、高)
- 最大射頻功率可達18W，單機可擴充至25W
- 包含玻璃腔(φ3” x L6.5”)
- 附帶觀察窗的鉸鏈門
- 主動式風扇冷卻
- 獨立開關可以操控真空馬達
- 額外提供一組外接式真空計電源
- 樣品托盤方便裝載和卸載，適合批量處理的小樣品
- 利用1/8”NPT針閥來調整氣體流量和腔體壓力
- 配合1/8”NPT三通閥可迅速切換引入氣體、排氣和隔離腔
- 包含抽氣管保護套，有效避免真空管拉扯玻璃腔造成損壞
- 尺寸: H213 x W257 x D217mm
[設備需求]
- 真空幫浦能力需求: 最小抽氣量 23L/min、最低真空需求: <200mTorr
- 對於非反應性氣體(空氣、N2、Ar)，只需使用一般油式真空幫浦
- 需可與機器銜接的數位式真空指示計
[選購配備]
- EVEFLOW 是一款混合器，適用於2種氣體定流量控制的混合
- 石英腔體適用於特殊反應氣體和防污染高敏感樣品的應用
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